작성일 : 11-01-18 13:37
AC / DC Magnetron
 글쓴이 : Lantech
조회 : 1,713  


당사는 베라루시의 IZOVAC사와 제휴하여 Ion Beam Sputtering과 함께 동사의 AC/DC Magnetron을 이용한 여러가지 개발을 진행하고 있습니다.
상기 사진은 AC / DC Magnetron입니다.
AC / DC Magnetron은 Ion Beam Sputtering과 비교하여 다소 고온에서의 성막입니다만, 성막 Rate는 Ion Beam과 비교하여 수배 빠른 특징이 있습니다.
계약에 따라서 동 Sputtering의 Source및 전원의 개별 판매도 가능합니다.