OLED Device는 OLED조명, 그리고 유기 태양전지용 박막 봉지장비입니다.
박막 봉지막은 Ion Beam Sputtering에 의한 무기계열의 박막을 Cushion막으로는 Linear Source에 의한 유기막 계열을 적층합니다.
당 장비는 이러한 무기막과 유기막의 연속 성막을 가능하게 합니다.
특히, 유기막의 성막에는 CVD가 아닌 새로운 Linear Source를 개발하여 성막의 두께 분포의 균일성을 향상 시켰습니다.