작성일 : 11-01-18 13:45
OLED박막 Encap용 Linear Source
 글쓴이 : Lantech
조회 : 2,116  


 

OLED Device는 OLED조명, 그리고 유기 태양전지용 박막 봉지장비입니다.
박막 봉지막은 Ion Beam Sputtering에 의한 무기계열의 박막을 Cushion막으로는 Linear Source에 의한 유기막 계열을 적층합니다.
당 장비는 이러한 무기막과 유기막의 연속 성막을 가능하게 합니다.
특히, 유기막의 성막에는 CVD가 아닌 새로운 Linear Source를 개발하여 성막의 두께 분포의 균일성을 향상 시켰습니다.

<특징>

기본 사양 
기반Size  :  400×550mm
진공도     :  1×10-1pa Order
성막두께  :  2~3um
기반 온도 :  10~80℃이하
반송방법  :  매엽식